[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 201620412267.6 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN205576272U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王百江;王伟 | 申请（专利权）人： | 遵化市宝瑞钛金设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 陈晓华 |
| 地址： | 063000 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜机，包括：镀膜罐体,所述镀膜罐体的侧壁上开设有多个抽气口,多个所述抽气口在所述镀膜罐体的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布；多个抽气装置，每个所述抽气口均通过管道对应连接一个抽气装置。本实用新型通过在镀膜罐体的侧壁上开设多个抽气口，多个抽气口在镀膜罐体外侧壁的高度方向上布置，从而有效改善了镀膜过程中工艺反应气体在镀膜区的均匀分布，进而大大提高了镀件的整体膜层质量、外观颜色的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机，其特征在于，包括:镀膜罐体(1),所述镀膜罐体(1)的侧壁上开设有多个抽气口(12),多个所述抽气口(12)在所述镀膜罐体(1)的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布；多个抽气装置，每个所述抽气口(12)均通过管道对应连接一个抽气装置。
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