[实用新型]一种硅微机械谐振压力传感器有效
| 申请号： | 201620414514.6 | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN205607566U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 方道德 | 申请（专利权）人： | 温州中业文化创意发展有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325011 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅微机械谐振压力传感器，包括传感器装置，所述传感器装置的左端设有螺纹管接头，且螺纹管接头的右端与传感器装置的相交处活动套设有螺栓紧固件，所述传感器装置的内腔从左到右依次固定安装有谐振元件、VCA放大器、输出缓冲器和压力传感器，所述谐振元件电性连接VCA放大器，所述VCA放大器电性连接输出缓冲器，所述输出缓冲器电性连接压力传感器，本实用新型结构通过在传感器装置的内部设置谐振元件，利用谐振元件与压力传感器的相互配合能够实现将被测压力转换成频率信号，这样便于观察压力传感器所检测的压力的变化，便于后期的分析与计算，同时谐振元件通过VCA放大器连接压力传感器能够得到更精确的频率数值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种硅微机械谐振压力传感器，包括传感器装置（1），其特征在于：所述传感器装置（1）的左端设有螺纹管接头（4），且螺纹管接头（4）的右端与传感器装置（1）的相交处活动套设有螺栓紧固件（5），所述传感器装置（1）的右端固定安装有电源输出件（2），且电源输出件（2）的下端电性连接外接电源线（3），所述传感器装置（1）的内腔从左到右依次固定安装有谐振元件（6）、VCA放大器（7）、输出缓冲器（8）和压力传感器（9），所述谐振元件（6）电性连接VCA放大器（7），所述VCA放大器（7）电性连接输出缓冲器（8），所述输出缓冲器（8）电性连接压力传感器（9）。
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