[实用新型]基于散射法测量冷作模具钢表面粗糙度的装置

摘要

基于散射法测量冷作模具钢表面粗糙度的装置，属于光学检测领域，本实用新型为了解决我国当前特殊钢厂的质量控制、质量检测手段落后，缺乏在线质量检验设备，产品的表面质量检测精度不高的问题。测量装置包括He‑Ne激光器、准直器、隔离器、起偏器、第一分束器、第二分束器、第一扩束装置、第二扩束装置、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第一检偏器、第二检偏器、第一会聚透镜、第二会聚透镜、第三会聚透镜、第一光强探测器、第二光强探测器、第三光强探测器；本实用新型具有非接触性、装置简单、快速测量、成本低等优点，用于检测冷作模具钢的表面综合性能参数。

主权项

基于散射法测量冷作模具钢表面粗糙度的装置，其特征在于，该测量装置包括He‑Ne激光器（1）出射的激光入射至准直器（2），通过准直器（2）准直的激光入射至隔离器（3），通过隔离器（3）准直后的激光入射至起偏器（4），经过起偏器（4）的激光变为线偏振光，该线偏振光通过第一分束器（5‑1）分为水平激光和垂直激光；通过第一分束器（5‑1）分光的水平激光入射至第一扩束装置（6‑1），第一扩束装置（6‑1）出射的激光入射至第一反射镜（7‑1），通过第一反射镜（7‑1）反射后的激光入射至第二反射镜（7‑2），经过第二反射镜（7‑2）反射后以θ角入射至被测冷作模具钢表面，经过冷作模具钢表面的反射，反射光也以θ角入射至第三反射镜（7‑3），经过第三反射镜（7‑3）的反射光入射至第一检偏器（8‑1），出射的线偏振光入射至第三会聚透镜（9‑3），经过第三会聚透镜（9‑3）的透射光入射至第三光强探测器；通过第一分束器（5‑1）分光的垂直激光入射至第二扩束装置（6‑2），经过第二扩束装置（6‑2）出射的激光入射至第二分束器（5‑2），通过第二分束器（5‑2）分光为水平激光和垂直激光；通过第二分束器（5‑2）分光的水平激光通过第一会聚透镜（9‑1）入射至第一光强探测器（10‑1）；通过第二分束器（5‑2）分光的垂直激光以角入射至被测冷作模具钢表面，经过冷作模具钢表面的反射，反射光入射至第二分束器（5‑2），经过第二分束器（5‑2）的激光通过第二检偏器（8‑2），出射的线偏振光入射至第二会聚透镜（9‑2），通过第二会聚透镜（9‑2）的激光入射至第二光强探测器。