[实用新型]用于校准在片高值电阻测量系统的标准件有效
| 申请号： | 201620421174.X | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN205608168U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 刘岩;乔玉娥;郑世棋;梁法国;吴爱华;翟玉卫;丁晨;程晓辉;李盈慧 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝伟 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于校准在片高值电阻测量系统的标准件，涉及计量技术领域。本实用新型的标准件包括衬底，在衬底上注入硼离子，在注入硼离子的衬底上设有若干对金属电极，每一对金属电极构成一个独立单元，在同一个衬底上的所有的金属电极的高度和长度相同，不同独立单元中的金属电极两个电极之间的间距均相等，金属电极的宽度是自同一衬底的行和列的一端开始呈递增或递减排列；衬底的外形尺寸及金属电极的外形尺寸和个数根据需要校准的目标阻值而定。本实用新型提出的标准件具有良好的重复性和长期稳定性，可以满足高值电阻测量系统计量校准的需要，确保量值准确一致。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 校准 片高值 电阻 测量 系统 标准件 | ||
【主权项】：
一种用于校准在片高值电阻测量系统的标准件，其特征在于，包括衬底（1），在衬底（1）上注入硼离子，在注入硼离子的衬底（1）上设有若干对呈阵列排布的金属电极（2），每一对金属电极（2）构成一个独立单元，在同一个衬底（1）上的所有的金属电极（2）的高度和长度相同，一对金属电极的两个电极之间设有间距，不同独立单元中的金属电极（2）两个电极之间的间距均相等，各对金属电极的宽度均不相同，金属电极（2）的宽度是自同一衬底（1）的行和列的一端开始呈递增或递减排列；其中，衬底（1）的外形尺寸及金属电极（2）的外形尺寸和个数根据需要校准的目标阻值而定。
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