[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉，该铸锭炉包括一个进气结构，该进气结构设置在坩埚的侧壁，包括进气管以及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件，分流组件与进气管垂直连接，分流组件包括一个与进气管呈丁字连接的容纳气体的空腔和一个进气通道。通过该进气结构，不仅可以避免坩埚外部的杂质进入硅熔体，还能将硅熔体中产生的杂质带出炉体。另外，分流组件能够将气流分散，从而可以减弱气流对硅熔体表面的冲击，分散的气流不容易在铸锭炉内形成循环气流，因此还能够减少气体在坩埚、护板及盖板组成的空间中的停留时间，避免携带碳杂质的气体流经硅液表面时被吸附，降低硅锭中的碳含量。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，所述铸锭炉内设置有坩埚、护板、底板、盖板，坩埚放置在底板上，护板设置在坩埚外侧，盖板设置在坩埚上方；所述铸锭炉内还包括进气结构，其特征在于：所述的进气结构设置在坩埚侧壁，包括进气管以及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件，所述的分流组件与所述进气管垂直连接。