[实用新型]片上螺旋变压器器件结构

摘要

本实用新型提供一种片上螺旋变压器器件结构，所述器件由若干个器件单元体并联而成，其特征在于：所述器件单元体包括衬底、绝缘氧化层、第一金属层、二氧化硅层、第一连线孔、第二金属层、聚酰亚胺、第三金属层和第二连线孔，第二金属层有三个，中间和右侧的第二金属层通过第一连线孔与第一金属层连接，第三金属层有三个，左侧和右侧的第三金属层通过第二连线孔分别与左侧和右侧的第二金属层连接，用于引出次级线圈，中间的第三金属层用于引出初级线圈。本实用新型提出的八边形片上螺旋变压器，器件结构新颖且性能优越，使用Al‑Si‑Cu作为金属线圈，不但可以和常规CMOS生产线兼容，且金属线宽控制的精度较高，降低了制作工艺的难度，同时降低了制作成本。

主权项

一种片上螺旋变压器器件结构，包括器件单元体，所述变压器器件由若干个器件单元体并联而成，其特征在于：所述器件单元体包括衬底（1）、绝缘氧化层（2）、第一金属层（3）、二氧化硅层（4）、第一连线孔（5）、第二金属层（6）、聚酰亚胺（7）、第三金属层（8）和第二连线孔（9），所述绝缘氧化层（2）位于衬底（1）上且邻接，所述第一金属层（3）覆盖在绝缘氧化层（2）上，所述二氧化硅层（4）覆盖在绝缘氧化层（2）和第一金属层（3）表面，所述第一连线孔（5）有两个，均设置在第一金属层（3）上，所述第二金属层（6）有三个，所述左侧的第二金属层（6）覆盖在二氧化硅层（4）上，所述中间和右侧的第二金属层（6）填充在两个第一连线孔（5）内，所述聚酰亚胺（7）覆盖在二氧化硅层（4）和第二金属层（6）表面，所述第二连线孔（9）有两个，分别设置在左侧的第二金属层（6）和右侧的第二金属层（6）上，所述的第三金属层（8）有三个，所述左侧和右侧的第三金属层（8）填充在第二连线孔（9）内，用于引出次级线圈，所述中间的第三金属层（8）覆盖在聚酰亚胺（7）上，用于引出初级线圈。