[实用新型]一种真空管道的连接结构有效
| 申请号： | 201620425568.2 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN205618857U | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 陆飞 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F16L19/03 | 分类号： | F16L19/03;F16L19/075 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体配件领域，尤其涉及一种真空管道的连接结构。应用于连接第一真空管道和第二真空管道，包括：第一接口，与第一真空管道连接；第二接口，与第二真空管道连接；凹槽，设置于第二接口的密封面上；密封圈，设置于凹槽中以密封第一接口和第二接口；以及第一螺纹套管，套设于第一接口外侧；第二螺纹套管，套设于第二接口外侧；其中，第一螺纹套管套设于第二螺纹套管外侧以卡紧第一接口和第二接口。在第一接口和第二接口上套设与两个接口形状相切合的第一螺纹套管和第二螺纹套管，一方面能够增加管路安装的行程，另一方面能够提高管道的卡紧力度，有效屏蔽蚀腐蚀性的气体粉尘进入两个接口的细缝内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 管道 连接 结构 | ||
【主权项】：
一种真空管道的连接结构，其特征在于，应用于连接第一真空管道和第二真空管道，且所述第一真空管道位于所述第二真空管道之上，所述连接结构包括：第一接口，与所述第一真空管道连接；第二接口，与所述第二真空管道连接；凹槽，设置于所述第二接口的密封面上；密封圈，设置于所述凹槽中以密封所述第一接口和所述第二接口；以及第一螺纹套管，套设于所述第一接口外侧；第二螺纹套管，套设于所述第二接口外侧；其中，所述第一螺纹套管套设于所述第二螺纹套管外侧以卡紧所述第一接口和所述第二接口。
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