[实用新型]基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器

摘要

本实用新型提供一种基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器，该传感器的数据采集器采用具有硅铝异质结形成的巨压阻结构的悬臂梁结构，能够在相同应力条件下产生更大的电阻阻值变化，从根本上提高了生化传感器的灵敏度；采用两个相邻的共模信号补偿结构，能够保证该生化传感器的每个悬臂梁在复杂外界环境下的测量精度，降低了因个别悬臂梁失灵对测量结果产生的影响；另外，该传感器采用四线制测量方法以及信号的放大、滤波调理电路，可得到较为精准的信号，削弱噪声等外界因素对检测结果的影响，可以达到高精度、稳定测量的效果。

主权项

基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器，其特征在于：包括数据采集器、四线制测量电路、AD7794模数转换器、MSP430F169单片机和LCD12864液晶显示屏，所述数据采集器将采集到的数据通过四线制测量电路传输给AD7794模数转换器，AD7794模数转换器转换后输出至MSP430F169单片机，由MSP430F169单片机发送至LCD12864液晶显示屏，在LCD12864液晶显示屏上显示；所述数据采集器包括基底和依次固定在所述基底上的若干个悬臂梁，若干个所述悬臂梁串联由同一个恒流源供电，所述相邻两个悬臂梁的固定端之间通过金属铝材质的连接线相连；所述悬臂梁包括依次设置的检测区、金属铝段区、巨压阻结构区、掺杂硅段区，所述检测区由金属铝段区的端部自组装后表面修饰高分子敏感材料或者生物活性分子材料而成，位于悬梁臂的自由端，所述掺杂硅段区位于悬臂梁的固定端，所述巨压阻结构区为硅铝异质结，所述悬臂梁的固定端上设有电位测量点。