[实用新型]光刻机上版架有效
| 申请号： | 201620426620.6 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN205620672U | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;孙多卫 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 肖伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光刻机上版架，用于承载掩模版，包括：底板、至少两条平行地设置于底板顶面的导轨、可滑动地置于所述导轨上的滑块、可拆地锁固于滑块顶面的连接板、与所述连接板可拆地固定连接的原材承重台以及设在靠导轨的一端处用于限定连接板随滑块移动的行程范围的挡块，所述光刻机上版架包括有至少两块供择一使用的连接板，且各块连接板的沿导轨长度方向上的宽度各不相同。本实用新型光刻机上版架只需灵活地更换其中的连接板这一个组件即可适用于不同规格的掩膜版产品，通过设置多套连接板，可以让一台光刻机能适用于多种规格的掩膜版产品的加工处理，可以有效降低设备成本，且拆装调整灵活方便，能有效提升加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 机上版架 | ||
【主权项】：
一种光刻机上版架，用于承载掩模版，其特征在于，所述光刻机上版架包括：底板、至少两条平行地设置于底板顶面的导轨、可滑动地置于所述导轨上的滑块、可拆地锁固于滑块顶面的连接板、与所述连接板可拆地固定连接的原材承重台以及设在靠导轨的一端处用于限定连接板随滑块移动的行程范围的挡块，所述光刻机上版架包括有至少两块供择一使用的连接板，且各块连接板的沿导轨长度方向上的宽度各不相同。
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