[实用新型]一种硅棒切割用晶托板脱胶装置有效
| 申请号： | 201620434087.8 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205614859U | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 李小坡;白青松;李虎;骆益民 | 申请（专利权）人： | 苏州晶樱光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04 |
| 代理公司： | 无锡中瑞知识产权代理有限公司 32259 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅棒切割用晶托板脱胶装置，包括脱胶槽和用于对脱胶槽进行加热的蒸汽加热装置，所述蒸汽加热装置包括蒸汽加热管，蒸汽加热管缠绕于脱胶槽的外部，该脱胶装置还包括至少一个用于将脱胶槽内杂质分离的分离隔板，所述分离隔板上设置有若干通孔，分离隔板活动安装于脱胶槽内，该脱胶装置一方面采用蒸汽加热管对脱胶槽进行加热，蒸汽加热管缠绕于脱胶槽的外部，脱胶槽受热均匀，脱胶速度快、脱胶效果好，从而可实现晶托板的再次使用，提高晶托板的利用率，节约生产成本，另一方面利用分离隔板有利于及时有效的将脱胶产生的杂质去除，提高了脱胶效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 用晶托板 脱胶 装置 | ||
【主权项】：
一种硅棒切割用晶托板脱胶装置，其特征在于：包括脱胶槽和用于对脱胶槽进行加热的蒸汽加热装置，所述蒸汽加热装置包括蒸汽加热管，蒸汽加热管缠绕于脱胶槽的外部，该脱胶装置还包括至少一个用于将脱胶槽内杂质分离的分离隔板，所述分离隔板上设置有若干通孔，分离隔板活动安装于脱胶槽内。
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