[实用新型]一种硅太阳能电池等离子刻蚀装置

摘要

本实用新型公开了一种硅太阳能电池等离子刻蚀装置，包括风机和刻蚀室，所述刻蚀室内部顶端设置有均风扇，所述射频电极固定座下端设置有射频电极，所述刻蚀室的底部设置有滑轨，所述支腿上端安装有承重支架，所述承重支架上端设有旋转装置，所述旋转装置上端安装有桌面面板，且所述桌面面板上端放置有硅片垫片，所述硅片垫片上端面放置有硅片；该种硅太阳能电池等离子刻蚀装置用载硅片车作为硅片载体，实现了硅片批量次生产，悬挂式射频电极通过均风扇将产生的等离子辉光吹拂到待刻蚀的硅片沿边，极大的控制了因刻蚀导致的沿边钻蚀，保证了同批次硅片刻蚀的一致性，减少了破损率。

主权项

一种硅太阳能电池等离子刻蚀装置，包括风机（1）和刻蚀室（13）,其特征在于：所述刻蚀室（13）内部顶端设置有均风扇（3），所述均风扇（3）上端连接有风管（2），所述风机（1）连接风管（2）的另一端，所述刻蚀室（13）内部上端固定设置有悬挂横梁（4），且所述悬挂横梁（4）位于均风扇（3）的下端，所述悬挂横梁（4）下端固定安装有射频电极固定座（6），所述射频电极固定座（6）下端设置有射频电极（5），所述刻蚀室（13）的底部设置有滑轨（11），所述滑轨（11）上端设置有支腿（12），且所述支腿（12）通过支腿（12）上的滑轮滑动连接滑轨（11），所述支腿（12）上端安装有承重支架（14），所述承重支架（14）上端设有旋转装置（10），所述旋转装置（10）上端安装有桌面面板（9），且所述桌面面板（9）上端放置有硅片垫片（7），所述硅片垫片（7）上端面放置有硅片（8）。