[实用新型]一种高精度真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201620435527.1 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205576266U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 关振奋 | 申请（专利权）人： | 晋谱（福建）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;林祥翔 |
| 地址： | 351111 福建省莆田市高新技*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高精度真空镀膜装置，包括壳体、抽真空装置和坩埚，所述壳体由外至内依次包括外层壳体、隔热层、内层壳体和内衬；抽真空装置包括真空泵和真空压力传感器，所述真空压力传感器设置于中央真空室内；坩埚设置于中央真空室的底部，坩埚设置有加热装置，坩埚的上方设置有用于夹装镀膜基材的固定装置；加热装置包括两个以上设置于坩埚底部不同位置的发热丝，以及两个设置于坩埚内侧面不同位置的温度传感器，其中，所述发热丝分别连接于不同的控制开关。本实用新型高精度真空镀膜装置提高了镀膜厚度控制精度，提高了产品加工工艺的重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度真空镀膜装置，包括壳体、抽真空装置和坩埚，其特征在于，所述壳体由外至内依次包括外层壳体、隔热层、内层壳体和内衬，所述外层壳体和内层壳体为密封壳体，内层壳体围成中央真空室；所述抽真空装置包括真空泵和用于检测真空值的真空压力传感器，所述真空泵设置于壳体外，并通过密封管道与中央真空室连通；所述真空压力传感器设置于中央真空室内；所述坩埚设置于中央真空室的底部，坩埚设置有加热装置，坩埚的上方设置有用于夹装镀膜基材的固定装置；所述加热装置包括两个以上设置于坩埚底部不同位置的发热丝，以及两个设置于坩埚内侧面不同位置的温度传感器，其中，所述发热丝分别连接于不同的控制开关。
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