[实用新型]一种PECVD镀膜机下料端风冷散热装置有效
申请号: | 201620435947.X | 申请日: | 2016-05-13 |
公开(公告)号: | CN205917331U | 公开(公告)日: | 2017-02-01 |
发明(设计)人: | 陈德榜 | 申请(专利权)人: | 温州海旭科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513;C23C16/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 325000 浙江省温州市经*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,包括镀膜机下料载车和风冷散热装置,所述安装板的内侧设置有风机,所述风机通过导线与控制装置电性连接,所述风冷散热装置在风机的内侧设置有气流均压槽,所述气流均压槽的右侧安装有散热腔,所述散热器通过导线与控制装置电性连接,所述散热腔的下方安装有聚风挡板,所述散热腔的右侧设置有温度传感器,所述温度传感器通过导线与控制装置电性连接,所述风冷散热装置的左侧设有左挡块,所述风冷散热装置的右侧安装有右挡块。该PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,具有结构设计合理、操作简单、安全实用等优点,同时能大幅度提高散热效率,可以普遍推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 pecvd 镀膜 机下料端 风冷 散热 装置 | ||
【主权项】:
一种PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,包括镀膜机下料载车(1)和风冷散热装置(9),其特征在于:所述镀膜机下料载车(1)的两侧设置有风冷散热装置(9),所述风冷散热装置(9)固定安装在安装板(4)的上方,所述安装板(4)固定安装在支撑架(6)的上方,所述安装板(4)的外侧安装有控制装置(13),所述安装板(4)的内侧设置有风机(5),所述风机(5)通过导线与控制装置(13)电性连接,所述风冷散热装置(9)在风机(5)的内侧设置有气流均压槽(8),所述气流均压槽(8)的右侧安装有散热腔(7),所述散热腔(7)的上方安装有散热器(2),所述散热器(2)通过导线与控制装置(13)电性连接,所述散热腔(7)的下方安装有聚风挡板(3),所述散热腔(7)的右侧设置有温度传感器(11),所述温度传感器(11)通过导线与控制装置(13)电性连接,所述风冷散热装置(9)的左侧设有左挡块(10),所述风冷散热装置(9)的右侧安装有右挡块(12)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于温州海旭科技有限公司,未经温州海旭科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620435947.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种光伏焊带冷却装置
- 下一篇:一种无铬钝化加药系统
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的