[实用新型]一种PECVD镀膜机下料端风冷散热装置有效

专利信息
申请号: 201620435947.X 申请日: 2016-05-13
公开(公告)号: CN205917331U 公开(公告)日: 2017-02-01
发明(设计)人: 陈德榜 申请(专利权)人: 温州海旭科技有限公司
主分类号: C23C16/513 分类号: C23C16/513;C23C16/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 325000 浙江省温州市经*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,包括镀膜机下料载车和风冷散热装置,所述安装板的内侧设置有风机,所述风机通过导线与控制装置电性连接,所述风冷散热装置在风机的内侧设置有气流均压槽,所述气流均压槽的右侧安装有散热腔,所述散热器通过导线与控制装置电性连接,所述散热腔的下方安装有聚风挡板,所述散热腔的右侧设置有温度传感器,所述温度传感器通过导线与控制装置电性连接,所述风冷散热装置的左侧设有左挡块,所述风冷散热装置的右侧安装有右挡块。该PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,具有结构设计合理、操作简单、安全实用等优点,同时能大幅度提高散热效率,可以普遍推广使用。
搜索关键词: 一种 pecvd 镀膜 机下料端 风冷 散热 装置
【主权项】:
一种PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,包括镀膜机下料载车(1)和风冷散热装置(9),其特征在于:所述镀膜机下料载车(1)的两侧设置有风冷散热装置(9),所述风冷散热装置(9)固定安装在安装板(4)的上方,所述安装板(4)固定安装在支撑架(6)的上方,所述安装板(4)的外侧安装有控制装置(13),所述安装板(4)的内侧设置有风机(5),所述风机(5)通过导线与控制装置(13)电性连接,所述风冷散热装置(9)在风机(5)的内侧设置有气流均压槽(8),所述气流均压槽(8)的右侧安装有散热腔(7),所述散热腔(7)的上方安装有散热器(2),所述散热器(2)通过导线与控制装置(13)电性连接,所述散热腔(7)的下方安装有聚风挡板(3),所述散热腔(7)的右侧设置有温度传感器(11),所述温度传感器(11)通过导线与控制装置(13)电性连接,所述风冷散热装置(9)的左侧设有左挡块(10),所述风冷散热装置(9)的右侧安装有右挡块(12)。
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