[实用新型]一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置有效
| 申请号： | 201620436069.3 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN205797819U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 宋景锋 | 申请（专利权）人： | 苏州新纳晶光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司32102 | 代理人： | 陆明耀 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置，MOCVD石墨盘烤盘炉包括冷却筒及保温筒，冷却筒的内壁与保温筒的外壁之间形成一环状空间，清洁装置包括设置于环状空间内用于对保温筒的外壁进行清洁的弧形毛刷、及一驱动弧形毛刷在环状空间内轴向往复运动的驱动机构。本实用新型在MOCVD石墨盘烤盘炉的环状空间内设置了自动清洁装置，通过弧形毛刷实现对保温筒外壁及冷却筒内壁的自动清洁，提高了清洁效率，降低了清洁成本；弧形毛刷具有吸尘功能，当弧形毛刷将保温筒外壁及冷却筒内壁上的GaN等物质清刷剥离为浮尘后，通过吸尘孔能及时排出；滑轨能实现对弧形毛刷进行导向，使弧形毛刷的往复运动运行更稳定，使清洁装置结构更牢固。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 石墨 盘烤盘炉 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置，MOCVD石墨盘烤盘炉包括冷却筒及位于冷却筒内的保温筒，所述冷却筒的内壁与所述保温筒的外壁之间形成一环状空间，其特征在于：所述清洁装置包括设置于所述环状空间内用于对保温筒的外壁进行清洁的弧形毛刷、及一驱动所述弧形毛刷在环状空间内轴向往复运动的驱动机构。
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