[实用新型]一种高温扩散设备

摘要

本实用新型公开了一种高温扩散设备，包括真空泵，所述排废管的左侧设有第二弧形管，所述排废管的外侧套接有第一弧形管，所述第一弧形管与排废管的中间留有空隙，所述第一弧形管的外侧上端设有出气口，该高温扩散设备由真空泵连接干燥过滤装置，由真空表显示扩散炉管内腔的压力，通过加热仓加热，由进气管和排废管实现整个装置，通过对原有基础的排气管进行改造，解决了排废管的腐蚀断裂，增加了排废管使用寿命，减少了人员的工作劳动，有利于提高设备的正常运行率，同时也降低偏磷酸对人体的危害。使得气体可以通过排废管上的排气孔快速排放，可以快速排走，加快工艺废气的排放，减少腐蚀，提高片内、片间扩散的均匀性。

主权项

一种高温扩散设备，包括真空泵（1），其特征在于：所述真空泵（1）通过导管（12）连接有干燥过滤装置（2），所述干燥过滤装置（2）通过导管（12）连接有扩散炉管（7），所述导管（12）的外侧上端安装有真空表（3），所述扩散炉管（7）的内腔设有加热仓（9），所述加热仓（9）的内腔中设有石英舟（4），所述石英舟（4）的上端安装有硅片（5），所述扩散炉管（7）的外侧上部和下部分别贯穿设有进气管（8）和排废管（11），所述进气管（8）的外侧设有进气孔（6），所述进气孔（6）位于硅片（5）的正上方，所述排废管（11）的外侧设有排气孔（10），所述排废管（11）的左侧设有第二弧形管（113），所述排废管（11）的外侧套接有第一弧形管（112），所述第一弧形管（112）与排废管（11）的中间留有空隙（114），所述第一弧形管（112）的外侧上端设有出气口（111）。