[实用新型]一种用于管式PECVD的陶瓷杆及相应的石墨舟有效
| 申请号： | 201620438056.X | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205789900U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张标;党继东;俞亚东 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 224431 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于管式PECVD的陶瓷杆，包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。一种石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片上开设有通孔，各石墨舟片通过贯穿在通孔内的陶瓷杆固定连接成舟体，相邻两片石墨舟片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管，每个陶瓷杆的两端通过石墨螺母固定在最外侧的两片石墨舟片上；所述陶瓷杆包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上对应于所述石墨螺母开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。本实用新型结构简单、使用可靠、使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 pecvd 陶瓷 相应 石墨 | ||
【主权项】：
一种用于管式PECVD的陶瓷杆，其特征在于：包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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