[实用新型]一种栅控等离子体引发气相聚合表面涂层的装置有效
| 申请号： | 201620438933.3 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205616834U | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 宗坚 | 申请（专利权）人： | 无锡荣坚五金工具有限公司 |
| 主分类号： | C09D4/00 | 分类号： | C09D4/00;C09D4/02;C08F2/52;H05H1/24 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 江苏省无锡市惠*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种栅控等离子体引发气相聚合表面涂层的装置，属于等离子体技术领域，用于在基材表面制备聚合物涂层。其特征是，用金属栅网将真空室分隔为放电腔和处理室两部分；金属栅网与真空室绝缘；载体气体和单体蒸汽经不同管路分别送入放电腔和处理室内；待处理的基材放在处理室内；在放电腔内产生连续放电的等离子体，在金属栅网上施加脉冲正偏压释放等离子体进入处理室以引发单体聚合。本实用新型具有电源结构简单、价格低、调试容易，等离子体稳定，等离子体作用时间可以缩短到微秒级等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 引发 相聚 表面 涂层 装置 | ||
【主权项】：
一种栅控等离子体引发气相聚合表面涂层的装置，其特征在于：金属栅网(1)将真空室分隔为放电腔(2)和处理室(3)两部分；金属栅网(1)连接脉冲偏压电源(10)，金属栅网(1)与真空室绝缘；放电腔(2)分别连接载体气体管道(4)与灯丝电极(9)，灯丝电极(9)连接电源(8)；可放置待处理基材(11)的处理室(3)的远离放电腔(2)的一侧连接排气管(6)的一端，排气管(6)的另一端与真空泵(7)相连，处理室(3)的靠近放电腔(2)的一侧连接单体蒸汽管道(5)，处理室(3)与真空排气孔连通。
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