[实用新型]带压宽域动态配气及充装系统

摘要

本实用新型提供一种带压宽域动态配气及充装系统，SF₆气瓶的输出端经主气路接标气瓶，特征是：主气路从连接SF₆气瓶的输出端起始依次设有减压阀、电磁阀、第一质量流量控制器、第一静态混合器、第二质量流量控制器、第二静态混合器、第三质量流量控制器、第三静态混合器、缓冲罐、电磁比例调节阀和隔膜压力机，SF₆气瓶的输出端还经设有第四质量流量控制器的支气路接主气路、经设有第五质量流量控制器的支气路接主气路；每个样气气瓶的输出端分别经设有减压阀、第六质量流量控制器和电磁阀的支路连通主气路，连接点位于第一静态混合器的输入端；真空泵的进气口分别经球阀接隔膜压力机的两端。该装置采用多级配气技术，操作方便，配气效率高，工作性能优良。

主权项

一种带压宽域动态配气及充装系统，包括SF₆气瓶(1)、多个样气气瓶(2)、标气瓶(3)、真空泵(4)和主气路，其中SF₆气瓶(1)的输出端经主气路接标气瓶(3)，其特征在于：主气路从连接SF₆气瓶(1)的输出端起始依次设有减压阀(5)、电磁阀(6)、第一质量流量控制器(7)、第一静态混合器(8)、第二质量流量控制器(9)、第二静态混合器(10)、第三质量流量控制器(11)、第三静态混合器(12)、缓冲罐(13)、电磁比例调节阀(14)和隔膜压力机(15)，隔膜压力机(15)的输出端接标气瓶(3)，SF6气瓶(1)的输出端还经主气路上的电磁阀(6)以及设有第四质量流量控制器(17)的支气路接第二质量流量控制器(9)与第二静态混合器(10)之间的主气路、经主气路上的电磁阀(6)以及设有第五质量流量控制器(18)的支气路接第三质量流量控制器(11)与第三静态混合器(12)之间的主气路；每个样气气瓶(2)的输出端分别经依次设有减压阀(5)、第六质量流量控制器(19)和电磁阀(6)的支路连通主气路，连接点位于第一静态混合器(8)的输入端；真空泵(4)的进气口分别经球阀(16)接隔膜压力机(15)的两端。