[实用新型]SF6分析仪校验用标气压缩灌装及校验尾气净化装置

摘要

本实用新型提供一种用于SF₆分析仪校验的标气灌装及校验尾气净化装置，包括标气灌装系统和校验尾气净化系统，特征在于：标气灌装系统中配制主气路包括顺次串接在气源与标气瓶之间的第一电磁阀、第一缓冲罐、第一电磁比例调节阀、第一隔膜压缩机和第一压力传感器，真空泵的进气口分别经第一球阀、第二球阀接第一隔膜压缩机的进气口和出气口；校验尾气净化系统包括顺次连接在气源与回收瓶之间的第二电磁阀、第二缓冲罐、第二电磁比例调节阀、第二隔膜压缩机、并联的两路净化气路和第二压力传感器，其中每一路净化气路均包括依次串接的第三电磁阀、分子筛过滤器和高分子膜过滤器。本装置有效地集成了校验尾气净化回收和标气灌装，且携带方便，性能优良。

主权项

一种用于SF₆分析仪校验的标气灌装及校验尾气净化装置，包括标气灌装系统和校验尾气净化系统，其特征在于：标气灌装系统包括气源(1)、标气瓶(2)、配制主气路、真空泵(3)、第一球阀(4)和第二球阀(5)，其中配制主气路包括顺次连接在气源(1)与标气瓶(2)之间的第一电磁阀(6)、第一缓冲罐(7)、第一电磁比例调节阀(8)、第一隔膜压缩机(9)和第一压力传感器(10)，真空泵(3)的进气口分别经第一球阀(4)接第一隔膜压缩机(9)的进气口、经第二球阀(5)接第一压力传感器(10)之后的配制主气路；校验尾气净化系统包括气源(1)、回收瓶(11)和顺次连接在气源(1)与回收瓶(11)之间的第二电磁阀(12)、第二缓冲罐(13)、第二电磁比例调节阀(14)、第二隔膜压缩机(15)、并联的两路净化气路和第二压力传感器(16)，其中每一路净化气路均包括依次串接的第三电磁阀(17)、分子筛过滤器(18)和高分子膜过滤器(19)，两个分子筛过滤器(18)的输入端分别经第三电磁阀(17)接第二隔膜压缩机(15)的输出端，两个高分子膜过滤器(19)的输出端接回收瓶(11)的输入端。