[实用新型]集成式音圈电机模组

摘要

本实用新型公开了一种集成式音圈电机模组，适合高速定位机械手末端负载的驱动，特别适合半导体设备的点胶、装片等末端负载小的场合应用。它包括一体式定子基座、磁铁、一体式动子载板、线圈、直线导轨、光栅尺、编码器读头、编码器读头固定座。通过把底座与音圈电机的定子设计为一体，即磁铁、导轨、底座安装孔、编码器读头固定座都设置在一体式定子基座上；把音圈电机的动子和运动承载台也设计为一体，即线圈、导轨、负载安装孔、光栅尺都设置在一体式动子载板上。以此方式，极大地降低了音圈电机的重量和体积，减少漏磁且提高了系统刚性。以上，使得音圈电机的快速定位性能得到大幅提升。

主权项

集成式音圈电机模组，通过使用音圈电机实现小负载应用的高速且高精度定位，所述的集成式音圈电机模组其特征在于包括一体式定子基座、磁铁、一体式动子载板、线圈、直线导轨、光栅尺、编码器读头，其磁铁、导轨、底座安装孔都设置在一体式定子基座上，所述一体式定子基座为铁磁性材料。