[实用新型]一种三级晶片清洗槽

摘要

本实用新型的目的在于解决现有技术所存在的问题，找到一种三级晶片清洗槽，可以更方便的清洗晶片，并可节约清洗的液体。包括呈阶梯状排列的第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽，第一清洗槽高于第二清洗槽，第二清洗槽高于第三清洗槽，第一清洗槽位于第二清洗槽一侧的侧板上设有第一出液孔，第二清洗槽位于第三清洗槽一侧的侧板上设有第二出液孔。通过实施本实用新型可以取得以下有益技术效果：可以将晶片依次在第三清洗槽、第二清洗槽、第一清洗槽中清洗，无需来回换液清洗，使得清洗晶片更方便，同时达到节约清洗液的目的。

主权项

一种三级晶片清洗槽，其特征在于：包括相互呈阶梯状排列的第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽，所述第一清洗槽高于第二清洗槽，第二清洗槽高于第三清洗槽，所述第一清洗槽位于第二清洗槽一侧的侧板上设有第一出液孔，所述第二清洗槽位于第三清洗槽一侧的侧板上设有第二出液孔。