[实用新型]扫描电子显微镜装置有效
| 申请号： | 201620454328.5 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN205595302U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 王世伟 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 胡川;徐丰 |
| 地址： | 610029 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种扫描电子显微镜装置，其包括圆形台面，所述圆形台面的中心开设有圆形过孔，圆形过孔内设有可升降的托盘，托盘外围的圆形台面上间隔设置有两段弧形钢片。通过上述方式，本实用新型能够满足生产更小直径的晶圆的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 装置 | ||
【主权项】：
一种扫描电子显微镜装置，其特征在于，包括圆形台面，所述圆形台面的中心开设有圆形过孔，所述圆形过孔内设有可升降的托盘，所述托盘外围的圆形台面上间隔设置有两段弧形钢片。
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