[实用新型]掩膜板卡夹有效
| 申请号： | 201620455626.6 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN205608386U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李宝军 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/66 | 分类号： | G03F1/66 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜板卡夹，属于显示面板制造领域。所述掩膜板卡夹包括：卡夹主体；所述卡夹主体内设置有至少一个用于放置掩膜板的卡槽，每个所述卡槽包括支撑座；每个所述支撑座内设置有缓冲结构。在搬运该掩膜板卡夹的过程中，支撑座内的缓冲结构能够对掩膜板卡夹与掩膜板之间的碰撞起到缓冲作用，有效减小碰撞对掩膜板造成的损坏，解决了相关技术中的掩膜板卡可能会对掩膜板造成损坏的问题。本实用新型用于装载掩膜板。 | ||
| 搜索关键词： | 板卡 | ||
【主权项】：
一种掩膜板卡夹，其特征在于，所述掩膜板卡夹包括：卡夹主体；所述卡夹主体内设置有至少一个用于放置掩膜板的卡槽，每个所述卡槽包括支撑座；每个所述支撑座内设置有缓冲结构。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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