[实用新型]MEMS结构有效
| 申请号： | 201620455747.0 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN205647989U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;朱佳辉 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS结构。所述MEMS结构包括：衬底；可动部件，所述可动部件位于所述衬底上；固定部件，所述固定部件位于所述可动部件上，并且与所述可动部件彼此相对，以形成电容极板；互连部件，包括与所述固定部件相同层面的第一部分和从所述第一部分向下延伸并与可动部件连接的第二部分；以及保护部件，所述保护部件与所述可动部件隔开预定距离,从而在所述可动部件运动振幅大于该预定距离时提供保护，延长该MEMS结构的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底；可动部件，所述可动部件位于所述衬底上；固定部件，所述固定部件位于所述可动部件上，并且与所述可动部件彼此相对，以形成电容极板；以及互连部件，包括与所述固定部件相同层面的第一部分和从所述第一部分向下延伸并与可动部件连接的第二部分。
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