[实用新型]多谐振模式的薄膜体声波谐振器和滤波器有效
| 申请号： | 201620458352.6 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN205657657U | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李国强;刘国荣;李洁 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈文姬 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了多谐振模式的薄膜体声波谐振器，依次包括硅衬底和压电堆叠结构，所述压电堆叠结构之间的空腔形成薄膜体声波谐振器的谐振腔；所述压电堆叠结构由下至上依次包括底电极、两层以上的压电薄膜、顶电极。本实用新型的薄膜体声波谐振器，具有多个谐振点，可通过级联、桥接等方式设计出多通带滤波器，大大减少无线终端上的FBAR滤波器数量。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 模式 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
多谐振模式的薄膜体声波谐振器，其特征在于，依次包括硅衬底和压电堆叠结构，所述压电堆叠结构之间的空腔形成薄膜体声波谐振器的谐振腔；所述压电堆叠结构由下至上依次包括底电极、两层以上的压电薄膜、顶电极；各层压电薄膜的面积不同。
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