[实用新型]一种交替增量式测量微位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种交替增量式测量微位移传感器，包括激光束、两块反射镜间、光电探测器一、光电探测器二、导轨一、导轨二和和控制处理系统。运用该传感器，通过激光束在一组平行设置的两块反射镜之中不断反射，最终照射到两组光电探测器上，改变两块反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，在每组光电探测器所在导轨上移动光电探测器感应激光束，控制处理系统根据光电探测器的感光里程及感光方向处理得到一个探测位移值，控制处理系统能够通过这个探测位移值再加上或者减去光电探测器在轨道上的移动距离值经过计算后得出两块反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。

主权项

一种交替增量式测量微位移传感器，其特征在于，包括激光束(11)、两块反射镜、光电探测器一(5)、光电探测器二(6)、导轨一(9)、导轨二(10)和控制处理系统，所述光电探测器一(5)设于所述导轨一(9)上并能在其上移动，所述光电探测器二(6)设于所述导轨二(10)上并能在其上移动，两块所述反射镜平行设置并且能够相对移动，所述光电探测器一(5)和光电探测器二(6)设置在两块所述反射镜的一端，相对的另一端设置所述激光束(11)，所述激光束(11)入射到其中一块所述反射镜上，经过两块所述反射镜交替反射后，出射到所述光电探测器一(5)或光电探测器二(6)并被感应，所述控制处理系统通信连接所述光电探测器一(5)和光电探测器二(6)，并用于统计所述光电探测器一(5)或光电探测器二(6)的感光里程及感光方向。