[实用新型]一种单晶硅炉用分段检测漏气装置

摘要

一种单晶硅炉用分段检测漏气装置，包括加筋软管，加筋软管的管体上设有一个阀门，且加筋软管的两端分别设置真空接头，所述真空接头包括弯头和将加筋软管接入需要检漏的管道的法兰板，法兰板上设置有贯通的中心孔，弯头一端焊接在中心孔上，另一端通过宝塔接头深入到加筋软管内，且通过喉箍将加筋软管与宝塔接头紧固防止漏气。在检漏时利用本实用新型将抽空管道和截止阀、泵与炉体分开来检漏，从而快速的判断是炉体漏气还是抽空管道和截止阀漏气，大大的提高的维修效率。

主权项

一种单晶硅炉用分段检测漏气装置，其特征在于：包括加筋软管（1），加筋软管（1）的管体上设有一个阀门（3），且加筋软管（1）的两端分别设置有真空接头（2），所述真空接头（2）包括弯头（202）和将加筋软管（1）接入需要检漏的管道的法兰板（201），法兰板（201）上设置有贯通的中心孔（203），弯头（202）一端焊接在中心孔（203）上，另一端通过宝塔接头（204）深入到加筋软管（1）内，且通过喉箍（205）将加筋软管（1）与宝塔接头（204）紧固防止漏气。