[实用新型]双面膜曝光结构有效
| 申请号： | 201620464559.4 | 申请日： | 2016-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN205750277U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 余燕青;陈泽强 | 申请（专利权）人： | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 李卫平 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及柔性电子产品应用技术领域，尤其是双面膜曝光结构，具有：一曝光工位，该曝光工位可实现上下两面曝光；一上端球面镜和一下端球面镜分别设置在曝光工位的上下端，该上端球面镜将相应地紫外光投射到曝光工位的上表面，而下端球面镜将相应地紫外光投射到曝光工位的下表面；上端球面镜和下端球面镜投射同一光源发出的紫外光，上端球面镜和下端球面镜采用先后投射的工作模式。本实用新型实现双面膜曝光，无需翻转重复单面曝光工作，优化工艺，提升工作效率及工作质量。结构简单，投资成本低，使用及维护简便，符合产业利用，极大提升机器设备的运行效，以及降低运行成本。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 曝光 结构 | ||
【主权项】：
双面膜曝光结构，其特征在于：该结构具有：一曝光工位（1），该曝光工位（1）可实现上下两面曝光；一上端球面镜（2）和一下端球面镜（3）分别设置在曝光工位（1）的上下端，该上端球面镜（2）将相应地紫外光投射到曝光工位（1）的上表面，而下端球面镜（3）将相应地紫外光投射到曝光工位（1）的下表面。
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