[实用新型]双面膜曝光对位结构

摘要

本实用新型涉及柔性电子产品应用技术领域，尤其是双面膜曝光对位结构，具有一曝光工位，该曝光工位可实现上下面曝光；在曝光工位上设有基座平台单元、可以对位移动单元、装载下铬版单元、可以对位和上下移动单元、上下铬版间距检测的激光探头和基于图像原理的摄像机。基于图像原理对位，视觉效果佳，可快速、准确的实现上铬版与基材的靶标检测对准；且设有上下铬版间距检测的激光探头，通过激光检测上铬版重复到位的距离，从而保证基材在上下铬版间距一致性，在平行UV光均匀照射下，对铬版下的干膜进行曝光，显影后的基材才能精确的电子图案，从而避免或减少图形曝光不均匀，提升工作效率及工作质量。

主权项

双面膜曝光对位结构，该结构具有一曝光工位（100），该曝光工位（100）可实现上下面曝光；在曝光工位（100）上设有基座平台单元（1）、可以对位移动单元（2）、装载下铬版单元（3）、可以对位和上下移动单元（4）、上下铬版间距检测的激光探头（5）和基于图像原理的摄像机（6），其特征在于：所述基座平台单元（1）设置四个第一XY平台（11），分布在基座平台单元（1）的四个角落，其中三个第一XY平台（11）由第一电机（12）驱动，以便与基材靶标对位；所述可以对位移动单元（2）铺设在四个第一XY平台（11）上面，可以对位移动单元（2）上设置四个第二XY平台（21），四个第二XY平台（21）分布在可以对位移动单元（2）的四个角落，其中三个第二XY平台（21）由第二电机（22）驱动，以便与上面铬版的靶标对位；所述可以对位移动单元（2）四个角落还铺设四根升降丝杆（23），升降丝杆（23）与第三电机（44）连接，其中前面两根升降丝杆（23）中间铺设四排滚珠轴承（41）；所述装载下铬版单元（3）铺设在四个第二XY平台（21）上面，装载下铬版单元（3）上铺设装载下铬版抽格（32），装载下铬版抽格（32）上面安装下铬版（33），在下铬版单元（3）的后面设置有两个限位（31）；所述可以对位和上下移动单元（4）悬挂在四根升降丝杆（23）的中间，跟随第三电机（44）上下移动，可以对位和上下移动单元（4）下面设置装载上铬版抽格（42），装载上铬版抽格（42）下面安装上铬版（43）；可以对位和上下移动单元（4）上面的前后边上设置四个激光探头（5），激光探头（5）由气缸（51）驱动；可以对位和上下移动单元（4）上面左右侧边上设置四个摄像机（6），摄像机（6）由第四电机（61）控制伸出长度，抓取基材的靶标和上铬版的靶标进行比较对位。