[实用新型]一种利用皮带传输的单晶片刷洗结构有效

专利信息
申请号: 201620468432.X 申请日: 2016-05-19
公开(公告)号: CN205863143U 公开(公告)日: 2017-01-04
发明(设计)人: 申请(专利权)人:
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 101300 北京市顺义*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种利用皮带传输的单晶片刷洗结构,其特征在于:所述单晶片刷洗结构包括皮带搬运刷洗结构,刷洗定位结构、刷洗升降组件、喷嘴固定支架、清洗液喷嘴、清水喷嘴、定位结构护罩、皮带托架、支撑块、刷洗槽、工作平台、亚克力挡水护罩及紧固件,所述皮带搬运刷洗结构安装在支撑块和工作平台上,将工件放在搬运皮带上,通过调速电机驱动,利用皮带的摩擦力,可以实现将工件搬运到所述刷洗升降组件的刷洗主轴上,所述刷洗槽安装在工作平台和皮带搬运刷洗结构之间。
搜索关键词: 一种 利用 皮带 传输 晶片 刷洗 结构
【主权项】:
一种利用皮带传输的单晶片刷洗结构,其特征在于:所述单晶片刷洗结构包括皮带搬运刷洗结构,刷洗定位结构、刷洗升降组件、喷嘴固定支架、清洗液喷嘴、清水喷嘴、定位结构护罩、皮带托架、支撑块、刷洗槽、工作平台、亚克力挡水护罩及紧固件,所述皮带搬运刷洗结构安装在支撑块和工作平台上,将工件放在搬运皮带上,通过调速电机驱动,利用皮带的摩擦力,可以实现将工件搬运到所述刷洗升降组件的刷洗主轴上,所述刷洗槽安装在工作平台和皮带搬运刷洗结构之间,用于放置刷洗的时候流下来的清洗液和清水,所述皮带托架安装在刷洗槽内部,在皮带下方托举起皮带,防止皮带因为工件重量变形,所述亚克力挡水护罩安装在皮带搬运刷洗结构上部,并位于刷洗主轴正上方,可以实现在刷洗工作的时候被甩出的液体可以顺着亚克力挡水护罩边缘流入刷洗槽中,可以有效的防止液体被甩到非工作区域,所述清洗液喷嘴和清水喷嘴安装在亚克力挡水护罩上的喷嘴固定架上,在刷洗工作的时候可以向工件表面喷洒清洗液和清水,所述刷洗定位结构安装在皮带搬运刷洗结构上,通过气缸驱动,可以实现当工件被搬运到刷洗主轴上时,快速将工件定位在刷洗主轴上,所述刷洗升降组件实现刷其刷洗主轴的吸附瓷盘晶片快速旋转运动,并调节毛刷与瓷盘晶片之间的刷洗距离。
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