[实用新型]微小型温度场闭环控制系统

摘要

本实用新型公开了一种微小型温度场闭环控制系统，它包括微小型温度场、温度场本体电路、温度调节单元、温度测量单元和微处理器，在所述微小型温度场中铂电阻薄膜r即是加热元件也是测温元件，所述温度场本体电路只包含一个固定匹配电阻R，所述固定匹配电阻R与所述铂电阻薄膜r构成电阻分压电路，所述温度调节单元能够输出一路可变的直流电压，所述温度调节单元的输出端与所述固定匹配电阻R的上端连接，所述温度测量单元能够将所述铂电阻薄膜r上端的电压转换为数字信号，所述微处理器运行PID温度控制算法程序，调节所述微小型温度场的温度。本实用新型能使毫米级温度场保持稳定，并能快速调节温度场的温度。

主权项

一种微小型温度场闭环控制系统，其特征在于它包括微小型温度场、温度场本体电路(5)、温度调节单元(6)、温度测量单元(7)和微处理器(8)，所述微小型温度场包括硅基底(1)、铂电阻薄膜r(2)、Al₂O₃绝缘层(3)和Au微电极(4)，所述温度场本体电路(5)只包含一个固定匹配电阻R，所述固定匹配电阻R与所述铂电阻薄膜r(2)构成电阻分压电路，所述固定匹配电阻R一端与所述铂电阻薄膜r(2)一端连接，所述铂电阻薄膜r(2)的另一端与系统接地端连接，所述温度调节单元(6)能够输出一路可变的直流电压，所述温度调节单元(6)的输出端与所述固定匹配电阻R的另一端连接，所述温度测量单元(7)能够将所述铂电阻薄膜r(2)上端的电压转换为数字信号，所述温度测量单元(7)的输入端与所述固定匹配电阻R一端和所述铂电阻薄膜r(2)一端连接，所述微处理器(8)与所述温度调节单元(6)的输入端和所述温度测量单元(7)的输出端连接。