[实用新型]一种蓝宝石晶体生长提拉装置有效
申请号: | 201620476778.4 | 申请日: | 2016-05-24 |
公开(公告)号: | CN205774930U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 严辉 | 申请(专利权)人: | 上海申骅机电设备制造有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/30 |
代理公司: | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙)31290 | 代理人: | 袁亚军 |
地址: | 201600 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型一种蓝宝石晶体生长提拉装置,其特征在于,包括籽晶杆、磁流体密封装置、轴承座、称重传感器、十字导轨,籽晶杆、磁流体密封装置经轴承座连接到称重传感器的下端,磁流体密封装置与轴承座固定连接,籽晶杆穿过磁流体密封装置和轴承座,十字导轨与轴承座相连接,通过调整十字导轨可以在XY方向调整籽晶杆。通过十字导轨和磁流体密封装置能够有效提高籽晶杆移动的精度,进而改善产品质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石晶体生长提拉装置,其特征在于,包括籽晶杆、磁流体密封装置、轴承座、称重传感器、十字导轨,籽晶杆、磁流体密封装置经轴承座连接到称重传感器的下端,磁流体密封装置与轴承座固定连接,籽晶杆穿过磁流体密封装置和轴承座,十字导轨与轴承座相连接,通过调整十字导轨可以在XY方向调整籽晶杆。
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