[实用新型]一种用于管式PECVD手动插片的上片盒有效
| 申请号： | 201620479830.1 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN205789883U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王宝磊;孙占峰;韩宝良;李毅娜;刘勇;刘景坤 | 申请（专利权）人： | 西安黄河光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心61204 | 代理人： | 顾潮琪 |
| 地址： | 710043 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于管式PECVD手动插片的上片盒，其特征在于，包括第一侧板、第二侧板和底板，且三块板均为四边形结构；第一侧板和第二侧板分别与底板相邻的两条边连接，且第二侧板所在平面与底板所在平面相互垂直，第一侧板所在平面和底板所在平面不垂直。将硅片放入盒内，整理后硅片的一侧紧贴斜边上片盒的斜边，硅片与硅片之间将形成相对位移，相互错开，从而使相邻的硅片更容易用吸笔分开，提高了上片速度；同时使硅片与硅片相互错开，避免插重片现象，降低了PECVD工序返工率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 pecvd 手动 上片 | ||
【主权项】：
一种用于管式PECVD手动插片的上片盒，其特征在于，包括第一侧板(1)、第二侧板(2)和底板(3)，且三块板均为四边形结构；第一侧板(1)和第二侧板(2)分别与底板(3)相邻的两条边连接，且第二侧板(2)所在平面与底板(3)所在平面相互垂直，第一侧板(1)所在平面和底板(3)所在平面不垂直。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
