[实用新型]高效光学镜片真空溅射镀膜装置

摘要

本实用新型公开了高效光学镜片真空溅射镀膜装置，其特征在于包括：真空镀膜室、非气体捕集式真空泵、气体捕集式真空泵、超高真空阀、气体输入控制阀、泄气阀以及溅射系统，溅射系统包括高压电源、阴极工作台和伸缩阳极工作台，阴极工作台设置于真空镀膜室内部的下侧，且与高压电源负极连接，并由高压电源向所述阴极工作台提供高负偏压，伸缩阳极工作台则设置于真空镀膜室内部的上侧，用于根据不同工件的镀膜要求自动伸缩调节与阴极工作台的溅射距离。本实用新型通过气体捕集式真空泵将工作气体进一步纯化，同时伸缩阳极工作台根据不同镜片的镀膜要求自动调节与阴极工作台之间的最佳溅射距离，从而最大限度地提高镜片真空溅射镀膜的工作效率。

主权项

高效光学镜片真空溅射镀膜装置，其特征在于包括：真空镀膜室(1)；非气体捕集式真空泵(2)，其设置于所述真空镀膜室(1)外部的下方；气体捕集式真空泵(3)，其与所述气体捕集式真空泵(2)同设于一侧；超高真空阀(4)，其均设置于所述非气体捕集式真空泵(2)和所述气体捕集式真空泵(3)与所述真空镀膜室(1)之间，且配合所述非气体捕集式真空泵(2)及所述气体捕集式真空泵(3)用于对所述真空镀膜室(1)快速抽高真空处理；气体输入控制阀(5)，其设置于所述真空镀膜室(1)的左侧；泄气阀(6)，其设置于所述真空镀膜室(1)的右侧；溅射系统(7)，其包括高压电源(71)、阴极工作台(72)和可伸缩调节高度的伸缩阳极工作台(74)，所述阴极工作台(72)设置于所述真空镀膜室(1)内部的下侧，且与所述高压电源(71)负极连接，并由所述高压电源(71)向所述阴极工作台(72)提供高负偏压，所述伸缩阳极工作台(74)则设置于所述真空镀膜室(1)内部的上侧，用于根据不同工件的镀膜要求自动伸缩调节与所述阴极工作台(72)的溅射距离。