[实用新型]高效离子镀膜试验装置有效
| 申请号： | 201620480072.5 | 申请日： | 2016-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN205590786U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 杨嘉嘉;杨文志;陈招燕;程亚丽 | 申请（专利权）人： | 中山市万物文化发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 杨连华 |
| 地址： | 528400 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了高效离子镀膜试验装置，包括主体支架，其特征在于：所述的主体支架上设有放电加工室，所述的放电加工室内设有基片及阴极单元，其中，所述的基片与所述的阴极单元连接，所述的主体支架上设有与所述的基片连接的输出装置，所述的输出装置旁设有用于控制工作压力的进气控制装置。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供增加生产效率，降低经济成本的高效离子镀膜试验装置。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 离子 镀膜 试验装置 | ||
【主权项】：
高效离子镀膜试验装置，包括主体支架(9)，其特征在于：所述的主体支架(9)上设有放电加工室(3)，所述的放电加工室(3)内设有基片(1)及阴极单元(2)，其中，所述的基片(1)与所述的阴极单元(2)连接，所述的主体支架(9)上设有与所述的基片(1)连接的输出装置(10)，所述的输出装置(10)旁设有用于控制工作压力的进气控制装置(6)。
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