[实用新型]改进型的活化反应离子镀试验装置有效
| 申请号： | 201620480113.0 | 申请日： | 2016-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN205662591U | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 杨嘉嘉;杨文志;陈招燕;程亚丽 | 申请（专利权）人： | 中山市万物文化发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/46 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 杨连华 |
| 地址： | 528400 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了改进型的活化反应离子镀试验装置，包括真空反应室，设于所述的真空反应室旁的供电单元，其特征在于：所述的真空反应室内设有差压分隔板，该差压分隔板使所述的真空反应室形成第一反应室及第二反应室，所述的第一反应室室壁上设有真空控制机组，所述的差压分隔板上设有电子束蒸发单元及电子流体放射装置，所述的电子束蒸发单元上侧设有反应气体循环，其中，所述的电子流体放射装置与所述的电子束蒸发单元连接，所述的电子束蒸发单元将镀料蒸发原子束流传至反应气体循环。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 活化 反应 离子镀 试验装置 | ||
【主权项】：
改进型的活化反应离子镀试验装置，包括真空反应室(8)，设于所述的真空反应室(8)旁的供电单元(1)，其特征在于：所述的真空反应室(8)内设有差压分隔板(10)，该差压分隔板(10)使所述的真空反应室(8)形成第一反应室(801)及第二反应室(802)，所述的第一反应室(801)室壁上设有真空控制机组(3)，所述的差压分隔板(10)上设有电子束蒸发单元(7)及电子流体放射装置(6)，所述的电子束蒸发单元(7)上侧设有反应气体循环层(12)，其中，所述的电子流体放射装置(6)与所述的电子束蒸发单元(7)连接，所述的电子束蒸发单元(7)将镀料蒸发原子束流传至反应气体循环层(12)。
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