[实用新型]一种多晶硅铸锭炉加热器有效
申请号: | 201620483378.6 | 申请日: | 2016-05-25 |
公开(公告)号: | CN205774922U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 彭进;龙昭钦;周慧敏;冷金标;周成;徐志群 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本申请公开了一种多晶硅铸锭炉加热器,包括顶加热器和位于所述顶加热器四周的下部的侧加热器,所述顶加热器利用至少二个吊装板与所述侧加热器连接,所述侧加热器包括四个形状相同且对称的首尾相接的加热器单体,每个所述加热器单体包括至少二个互连的U型加热部,且所述U型加热部的位于两侧的一边与相邻的另一个加热器单体的U型加热部的一边无缝连接。本申请提供的上述多晶硅铸锭炉加热器,实现硅锭四个角处受热加强,使硅锭和坩埚侧面受热均匀,减小硅锭和坩埚上端和下端之间的温差,降低坩埚受到的热冲击,避免坩埚破裂损失,并保证硅锭生长时具有平坦的固液界面,利于排出杂质和降低应力,以提高硅锭生长质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 加热器 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉加热器,包括顶加热器和位于所述顶加热器四周的下部的侧加热器,所述顶加热器利用至少二个吊装板与所述侧加热器连接,其特征在于,所述侧加热器包括四个形状相同且对称的首尾相接的加热器单体,每个所述加热器单体包括至少二个互连的U型加热部,且所述U型加热部的位于两侧的一边与相邻的另一个加热器单体的U型加热部的一边无缝连接。
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