[实用新型]一种基于超磁致伸缩薄膜的悬臂梁叉指电容磁场传感探头

摘要

本实用新型是一种基于超磁致伸缩薄膜的悬臂梁叉指电容磁场传感探头，属于微悬臂梁传感器领域。所述的传感探头包括硅基底、固支端、悬臂梁、铬金属膜和超磁致伸缩薄膜。固支端位于硅基底的两侧，悬臂梁通过固支端与硅基底连接，每侧三个悬臂梁，铬金属膜镀在硅基底和悬臂梁的上表面，硅基底和悬臂梁之间形成电容结构，同一侧的电容结构并联。超磁致伸缩薄膜镀在悬臂梁上的铬金属膜上面，一侧悬臂梁上的铬金属膜上面镀正超磁致伸缩薄膜，另一侧镀负超磁致伸缩薄膜，正、负两种超磁致伸缩薄膜的磁致伸缩系数相同或相近。在待测磁场中，超磁致伸缩薄膜的伸缩导致光纤悬臂梁的挠曲，两侧并联电容的大小发生相反的变化，通过对差动电容的检测分析得出外界磁场的大小。

主权项

一种基于超磁致伸缩薄膜的悬臂梁叉指电容磁场传感探头，包括：硅基底、固支端、悬臂梁、铬金属膜、超磁致伸缩薄膜，硅基底上表面镀铬金属膜，固支端位于硅基底的两侧，悬臂梁通过固支端与硅基底连接，每侧三个悬臂梁，两侧的悬臂梁形成叉指结构，悬臂梁上表面镀铬金属膜和超磁致伸缩薄膜。