[实用新型]一种OLED有机蒸发源装置有效
| 申请号： | 201620486547.1 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN205821437U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴空物 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 唐循文 |
| 地址： | 210038 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种OLED有机蒸发源装置，包括内衬及由内衬组成的蜂巢，所述蜂巢内设有升降杆、有机蒸发源、坩埚、晶振探头和电极，其中，升降杆将有机蒸发源和晶振探头连为一体，坩埚置于有机蒸发源上，电极与有机蒸发源连接；所述有机蒸发源上设有开孔，且在其上设有小挡板；所述有机蒸发源至少有2个。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：可根据器件结构需求来随意选择组合，提高器件制备的灵活性；可根据需要调节蒸镀基板与有机蒸发源之间的距离，达到节约材料及保证膜厚均一性的要求；有机蒸发源可设置在不同平面内，因而使得位置设置更加灵活，且互不污染，增加同一腔体内的有机蒸发源数量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 有机 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种OLED有机蒸发源装置，其特征在于，包括内衬(1)及由内衬(1)组成的蜂巢(6)，所述蜂巢(6)内设有升降杆(2)、有机蒸发源(3)、坩埚(4)、晶振探头(5)和电极(9)，其中，升降杆(2)将有机蒸发源(3)和晶振探头(5)连为一体，坩埚(4)置于有机蒸发源(3)上，电极(9)与有机蒸发源(3)连接；所述有机蒸发源(3)上方设有开孔(11)，且在其上设有小挡板(7)；所述有机蒸发源(3)至少有2个。
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