[实用新型]一种叠合式多层石英承载舟有效
| 申请号： | 201620487151.9 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN205789901U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 施耀;王学琴 | 申请（专利权）人： | 湖州创能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人： | 尉伟敏;郑新军 |
| 地址： | 313100 浙江省湖州市长*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及石英舟技术领域，公开了一种叠合式多层石英承载舟，包括若干依次叠合的石英单舟，石英单舟包括矩形的舟体底板、设在舟体底板上侧面边缘处的挡板，舟体底板的下侧面两端设有相互平行的支撑板，支撑板的形状呈倒梯形，舟体底板的四个角上均设有限位板，限位板上设有倾斜的支撑板限位面，舟体底板上至少设有两个定位孔，定位孔内设有石英定位销，石英单舟叠合后通过石英定位销定位，相邻两个石英单舟之间存在进气间隙。本实用新型具有能提高粉末物料气固反应的均匀性，提升单次物料气固反应处理量的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 叠合 多层 石英 承载 | ||
【主权项】：
一种叠合式多层石英承载舟，其特征是，包括若干依次叠合的石英单舟，所述的石英单舟包括矩形的舟体底板、设在舟体底板上侧面边缘处的挡板，所述舟体底板的下侧面两端设有相互平行的支撑板，所述支撑板的形状呈倒梯形，舟体底板的四个角上均设有限位板，所述的限位板上设有倾斜的支撑板限位面，所述舟体底板上至少设有两个定位孔，定位孔内设有石英定位销，石英单舟叠合后通过石英定位销定位，相邻两个石英单舟之间存在进气间隙。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
