[实用新型]一种激光光束质量测量装置有效
申请号: | 201620490223.5 | 申请日: | 2016-05-26 |
公开(公告)号: | CN205843930U | 公开(公告)日: | 2016-12-28 |
发明(设计)人: | 洪良;刘海强 | 申请(专利权)人: | 西安工程大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710048 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开的一种激光光束质量测量装置,包括有设置于基板上的位置测量导轨滑台系统、透射‑反射系统和探测系统,还包括有设置于基板一侧的激光器,且在该基板上,位置测量导轨滑台系统位于透射‑反射系统及探测系统的上部,位置测量导轨滑台系统连接有宽度测量导轨滑台系统,透射‑反射系统位于激光器的光输出端,经激光器的光输出端射出的光传播至透射‑反射系统后能形成光路系统,探测系统位于该光路系统上。本实用新型的激光光束质量测量装置,能对激光光束的空间与时间特性进行快速、自动及高精度测量,解决了极细激光光斑宽度与脉冲特性的一体化测量问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 光束 质量 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种激光光束质量测量装置,其特征在于,包括有设置于基板(6)上的位置测量导轨滑台系统(2)、透射‑反射系统和探测系统,还包括有设置于基板(6)一侧的激光器(1),且在所述基板(6)上,位置测量导轨滑台系统(2)位于透射‑反射系统及探测系统的上部,所述位置测量导轨滑台系统(2)连接有宽度测量导轨滑台系统(3),所述透射‑反射系统位于激光器(1)的光输出端,经激光器(1)的光输出端射出的光传播至透射‑反射系统后能形成光路系统,所述探测系统位于所述光路系统上。
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