[实用新型]石英腔体的固定治具及清洗装置有效
| 申请号： | 201620490839.2 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN205657050U | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 林志鑫;季文明 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种石英腔体的固定治具及清洗装置，所述固定治具用于在对石英腔体进行清洗时固定所述石英腔体，所述固定治具包括基座，于所述基座上具有多个用于固定所述石英腔体的固定导槽，所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。本实用新型中，使用一个固定治具实现对多种形状的石英腔体进行固定，可减小资源的浪费。同时，当采用具有本实用新型提供的固定治具的清洗装置对不同形状的石英腔体进行清洗时，可不必繁复的更换固定治具，从而可减小在更换固定治具时对清洗座的损伤，并且可避免固定治具于清洗座上固定不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 固定 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种石英腔体的固定治具，所述固定治具用于在对石英腔体进行清洗时固定所述石英腔体，其特征在于：所述固定治具包括一基座，于所述基座上具有多个用于固定石英腔体的固定导槽，所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新昇半导体科技有限公司，未经上海新昇半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620490839.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
