[实用新型]多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种能够实现节能减排的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉通过在进气管上设置流量控制阀，可以随着硅锭的不断生长，在保证硅锭不被氧化的前提下，通过调节流量控制阀，逐渐减小氩气的供应量，从而节约氩气，同时，氩气的供应量减小还避免了氩气进入炉体后再从抽气孔中排出的过程中带走大量的热量，可以大大降低加热器的能耗，实现节能减排，有利于节能环保，所述流量控制阀上连接有控制开关，所述控制开关上连接有计时器，通过预先设定计时器的时间，当计时器到达设定的时间，控制开关工作，进而对流量控制阀进行调节，整个过程无需工人进行现场监控，大大降低了工人的劳动强度。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

多晶硅铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体(1)，炉体(1)上设置有抽气孔(2)，所述炉体(1)内设置有下托保温板(3)与保温罩(4)，保温罩(4)放置在下托保温板(3)上，保温罩(4)与下托保温板(3)共同构成保温隔热笼，所述保温罩(4)上连接有能够使保温罩(4)上下移动的升降杆(5)，所述保温隔热笼内设置有坩埚(6)、坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)、热交换平台(12)，所述石墨底板(8)放置在热交换平台(12)上，坩埚(6)放置在石墨底板(8)上，坩埚护板(7)设置在坩埚(6)外侧，侧部加热器(10)设置在坩埚护板(7)的外侧，石墨盖板(9)设置在坩埚(6)上方，顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方，所述热交换平台(12)通过石墨立柱(22)固定在炉体(1)底部，坩埚护板(7)的上端设置有尾气排放孔(13)，还包括进气管(14)，所述进气管(14)的一端与氩气源(15)相连，另一端依次穿过炉体(1)、保温罩(4)、顶部加热器(11)、石墨盖板(9)后伸入坩埚(6)内，其特征在于：所述进气管(14)上设置有流量控制阀(19)，所述流量控制阀(19)上连接有控制开关(23)，所述控制开关(23)上连接有计时器(24)。