[实用新型]RH提升气体阀站有效
申请号: | 201620491985.7 | 申请日: | 2016-05-26 |
公开(公告)号: | CN205774651U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 欧洪林;许海虹 | 申请(专利权)人: | 中冶南方工程技术有限公司 |
主分类号: | C21C7/10 | 分类号: | C21C7/10 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人: | 程殿军;张瑾 |
地址: | 430223 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种RH提升气体阀站,包括一氩气供应主管,所述氩气供应主管上具有一氩气切断阀;至少一控流单元,每一所述控流单元具有一进气端以及一出气端,所述进气端与所述氩气供应主管连接,每一所述控流单元包括至少两级管路,每级管路上具有一电磁阀和一限流孔板;一真空室插入管,与所述出气端连接。本实用新型采用以限流孔板为核心元件的控流单元来分级调控提升气体流量,替代造价昂贵的以一体式流量控制器为核心元件的无级调控提升气体流量的控流单元,实现极低成本、高精度的提升气体流量控制。 | ||
搜索关键词: | rh 提升 气体 | ||
【主权项】:
一种RH提升气体阀站,其特征在于,包括:一氩气供应主管,所述氩气供应主管上具有一氩气切断阀;至少一控流单元,每一所述控流单元具有一进气端以及一出气端,所述进气端与所述氩气供应主管连接,每一所述控流单元包括至少两级管路,每级管路上具有一电磁阀和一限流孔板;一真空室插入管,与所述出气端连接。
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