[实用新型]一种气体净化装置有效
申请号: | 201620497103.8 | 申请日: | 2016-05-26 |
公开(公告)号: | CN205815167U | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 李俊琴;邹鹰;刘腾飞;陈振华;王勇;邰仁忠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
主分类号: | B01D8/00 | 分类号: | B01D8/00 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人: | 邓琪;宋丽荣 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种气体净化装置,包括依次设置的惰性气体钢瓶、冷阱和真空腔体,其中,惰性气体钢瓶中储存有惰性气体,真空腔体内设置有设备,冷阱由容置于液氮瓶中的铜盘管形成,液氮瓶中承载有液氮,惰性气体钢瓶与铜盘管通过第一充气气路连通,铜盘管与真空腔体通过第二充气气路连通。本实用新型通过冷阱的设置,可以去除惰性气体中的杂质,例如油脂类分子等,从而达到保护真空腔体内的设备的目的。而且,本实用新型的气体净化装置结构简单、操作简便,而且成本低廉。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 净化 装置 | ||
【主权项】:
一种气体净化装置,其特征在于,该气体净化装置包括依次设置的惰性气体钢瓶、冷阱和真空腔体,其中,惰性气体钢瓶中储存有惰性气体,真空腔体内设置有设备,冷阱由容置于液氮瓶中的铜盘管形成,液氮瓶中承载有液氮,惰性气体钢瓶与铜盘管通过第一充气气路连通,铜盘管与真空腔体通过第二充气气路连通。
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