[实用新型]一种电阻测试结构有效
申请号: | 201620497278.9 | 申请日: | 2016-05-26 |
公开(公告)号: | CN205786854U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 甘正浩;冯军宏 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R27/02 | 分类号: | G01R27/02;G01R31/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种电阻测试结构包括:第一待测电阻,所述第一待测电阻包括第一体电阻及分别连接于第一体电阻两端的第一头电阻及第二头电阻,所述第一头电阻与第一测试端以及电源端连接,所述第二头电阻与第二测试端以及电源端连接;所述第一体电阻的第一端延伸第一支路电阻,所述第一支路电阻与第三测试端连接,所述第一体电阻的第二端延伸第二支路电阻,所述第二支路电阻与第四测试端连接。本实用新型提供了一种电阻测试结构,用于解决现有技术中无法区分体电阻和接触电阻结构变化对电阻失配的影响问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 电阻 测试 结构 | ||
【主权项】:
一种电阻测试结构,其特征在于,所述电阻测试结构包括:第一待测电阻,所述第一待测电阻包括第一体电阻及分别连接于第一体电阻两端的第一头电阻及第二头电阻,所述第一头电阻与第一测试端以及电源端连接,所述第二头电阻与第二测试端以及电源端连接;所述第一体电阻的第一端延伸第一支路电阻,所述第一支路电阻与第三测试端连接,所述第一体电阻的第二端延伸第二支路电阻,所述第二支路电阻与第四测试端连接。
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