[实用新型]微小空间的二次靶靶材精密切换装置

摘要

本实用新型公开一种微小空间的二次靶靶材精密切换装置，包括：滑轨座、驱动电机、丝杠、滑块、靶材转动电机、靶材转动块、靶材和靶材限位装置，驱动电机固定在滑轨座上，驱动电机驱动丝杠转动，丝杠驱动滑块在滑轨座上滑动，靶材转动电机固定在滑块上，靶材转动电机带动靶材转动块转动，限位装置限制靶材转动块运动，靶材转动块上安装有靶材且各靶材的安装角度不同。

主权项

一种微小空间的二次靶靶材精密切换装置，其特征在于，包括：滑轨座(1)、驱动电机(5)、丝杠(13)、滑块(2)、靶材转动电机(8)、靶材转动块(9)、靶材(10)和靶材限位装置(11)，所述驱动电机(5)固定在所述滑轨座(1)上，所述驱动电机(5)驱动所述丝杠(13)转动，所述丝杠(13)驱动所述滑块(2)在所述滑轨座(1)上滑动，所述靶材转动电机(8)固定在所述滑块(2)上，所述靶材转动电机(8)带动所述靶材转动块(9)转动，所述靶材限位装置(11)在与所述靶材转动块(9)接触时限制所述靶材转动块(9)的转动，所述靶材转动块(9)上安装有至少两个所述靶材(10)且各靶材(10)的安装角度不同。