[实用新型]检测装置及其基板有效
| 申请号： | 201620499706.1 | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN205786855U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李磊 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种检测装置及其基板。所述基板用于放置进行离子注入的硅片，所述基板包括本体和容纳部；所述容纳部设置在所述本体上，所述容纳部上开设有多个孔，所述多个孔在行和列方向上依次排列，每个所述孔用于放置一片所述硅片，且所述孔的尺寸与所述硅片的尺寸相适配。上述检测装置及其基板，采用离子注入机每次对硅片进行离子注入时，只需将硅片放置在对应的孔中即可，保证每次硅片放置的位置相同，进而保证每次离子注入后硅片阻值的测试数据的准确性，避免误差的存在。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 及其 | ||
【主权项】：
一种基板，所述基板用于放置进行离子注入的硅片，其特征在于，包括：本体；以及容纳部，所述容纳部设置在所述本体上，所述容纳部上开设有多个孔，所述多个孔在行和列方向上依次排列，每个所述孔用于放置一片所述硅片，且所述孔的尺寸与所述硅片的尺寸相适配。
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