[实用新型]一种显影机的防灰尘喷嘴装置有效
| 申请号： | 201620502801.2 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN205787594U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 竺平军 | 申请（专利权）人： | 浙江优众新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B05B1/00;B05B13/04 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 316000 浙江省舟山*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种显影机的防灰尘喷嘴装置，属于刻蚀机技术领域，包括控制器、轮架、滚轮、第一电机、皮带、支板、滑轨、直线电机、气缸、第二电机、喷嘴、电动推杆、移动块、台板、滑块和显影机机壳，所述显影机机壳内顶部左右两侧各安装轮架，轮架左右两侧各安装滚轮，滚轮的轴通过联轴器与第一电机相连，第一电机安装在轮架上，皮带安装在两个滚轮上，皮带下安装支板，支板下安装滑轨，滑轨上安装滑块；本实用新型的优点是：避免晶片边缘附着灰尘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 灰尘 喷嘴 装置 | ||
【主权项】：
一种显影机的防灰尘喷嘴装置，包括控制器（1）、轮架（2）、滚轮（3）、第一电机（4）、皮带（5）、支板（6）、滑轨（7）、直线电机（8）、气缸（9）、第二电机（10）、喷嘴（11）、电动推杆（12）、移动块（13）、台板（14）、滑块（15）和显影机机壳（16），其特征是：所述显影机机壳（16）内顶部左右两侧各安装轮架（2），轮架（2）左右两侧各安装滚轮（3），滚轮（3）的轴通过联轴器与第一电机（4）相连，第一电机（4）安装在轮架（2）上，皮带（5）安装在两个滚轮（3）上，皮带（5）下安装支板（6），支板（6）下安装滑轨（7），滑轨（7）上安装滑块（15），滑块（15）下安装台板（14），台板（14）上安装移动块（13），移动块（13）安装在直线电机（8）上，直线电机（8）安装在支板（6）下，台板（14）下安装气缸（9），气缸（9）下安装第二电机（10），第二电机（10）的输出轴上安装电动推杆（12），电动推杆（12）下端安装喷嘴（11），控制器（1）安装在显影机机壳（16）顶部，控制器（1）通过导线分别与电动推杆（12）、第一电机（4）、第二电机（10）、直线电机（8）和喷嘴（11）相连。
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