[实用新型]一种干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置

摘要

一种干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置，属于刻蚀设备技术领域，包括第一电动阀、进气管、高温氮气管、水管、第二电动阀、发热片、电动推杆、接口、储废箱、第二直线电机、第二移动块、支块、刮刀、第二电机、多级伸缩杆、双头气缸、第一电机、第一直线电机、第一移动块和控制器，所述储废箱上安装接口，接口上安装进气管，进气管内安装第一直线电机，第一直线电机上安装第一移动块，第一移动块上安装第一电机，第一电机的输出轴上安装双头气缸，双头气缸左右两侧各安装多级伸缩杆，多级伸缩杆下安装支块；本实用新型的优点是：能放置气体处理装置中进气管与储废箱之间的接口堵塞。

主权项

一种干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置，包括第一电动阀（1）、进气管（2）、高温氮气管（3）、水管（4）、第二电动阀（5）、发热片（6）、电动推杆（7）、接口（8）、储废箱（9）、第二直线电机（10）、第二移动块（11）、支块（12）、刮刀（13）、第二电机（14）、多级伸缩杆（15）、双头气缸（16）、第一电机（17）、第一直线电机（18）、第一移动块（19）和控制器（20），其特征是：所述储废箱（9）上安装接口（8），接口（8）上安装进气管（2），进气管（2）内安装第一直线电机（18），第一直线电机（18）上安装第一移动块（19），第一移动块（19）上安装第一电机（17），第一电机（17）的输出轴上安装双头气缸（16），双头气缸（16）左右两侧各安装多级伸缩杆（15），多级伸缩杆（15）下安装支块（12），支块（12）侧面安装第二电机（14），第二电机（14）的输出轴上安装刮刀（13），支块（12）下安装第二直线电机（10），第二直线电机（10）上安装第二移动块（11），第二移动块（11）上安装电动推杆（7），电动推杆（7）前端安装发热片（6），进气管（2）上安装高温氮气管（3），高温氮气管（3）上安装第一电动阀（1），进气管（2）上安装水管（4），水管（4）上安装第二电动阀（5），控制器（20）安装在储废箱（9）上，控制器（20）通过导线分别与多级伸缩杆（15）、发热片（6）、第一电机（17）、第二电机（14）、第一直线电机（18）、第二直线电机（10）、电动推杆（7）、第一电动阀（1）和第二电动阀（5）相连。